制造芯片是很多國(guó)家都在積極推進(jìn)的產(chǎn)業(yè)，光刻機(jī)是制造芯片不可或缺的重要設(shè)備，我國(guó)就突破了一項(xiàng)光刻機(jī)核心技術(shù)，打破荷蘭壟斷，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)前景可期。

世界上能生產(chǎn)掃描光刻機(jī)設(shè)備的公司只有三家左右，荷蘭的ASML公司，中文名字叫做阿斯麥，中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)公司名字叫做艾司摩爾，這是一家位于全球2000強(qiáng)公司排行榜第279名的企業(yè)，總部位于荷蘭，也是全球規(guī)模最大的半導(dǎo)體公司。

能夠面向全世界提供半導(dǎo)體產(chǎn)品和設(shè)備，生產(chǎn)工藝先進(jìn)，復(fù)雜的精密集成電路設(shè)備都處于領(lǐng)先水平。

第二家就是日本的NIKON 尼康公司和CANON日本佳能公司，這兩個(gè)名字很多網(wǎng)友都不陌生，雖然現(xiàn)在使用相機(jī)的人不多了，但是這兩個(gè)公司曾經(jīng)靠相機(jī)風(fēng)靡全球，后來(lái)在半導(dǎo)體領(lǐng)域也做出很大的成績(jī)。

作為世界光刻機(jī)生產(chǎn)三巨頭，荷蘭阿斯麥公司拔得頭籌，而且也頗為自得，對(duì)自己的技術(shù)非常自負(fù)，甚至曾經(jīng)公開(kāi)表態(tài)，認(rèn)為其高端的極紫光光刻機(jī)技術(shù)，中國(guó)永遠(yuǎn)都無(wú)法模仿和突破，而且中國(guó)是遵守知識(shí)產(chǎn)權(quán)秩序良好的國(guó)家，在沒(méi)有取得授權(quán)的情況下，更不會(huì)去進(jìn)行私下的模仿。

所以荷蘭的阿斯麥公司很有信心，認(rèn)為僅憑光刻機(jī)產(chǎn)品的技術(shù)壟斷，就能繼續(xù)稱霸國(guó)際市場(chǎng)，而中國(guó)作為世界上的最大需求進(jìn)口國(guó)，未來(lái)依然是阿斯麥公司的客戶，只能被動(dòng)等待荷蘭公司的產(chǎn)品。

阿斯麥有理由相信，就算讓中國(guó)模仿，這種結(jié)構(gòu)復(fù)雜的光刻機(jī)也不是誰(shuí)都能簡(jiǎn)單復(fù)制得了的，極紫光光刻機(jī)有著8萬(wàn)多個(gè)零部件，超過(guò)九成的零件都是供應(yīng)商來(lái)提供，每個(gè)供貨商只能負(fù)責(zé)自己的那部分零件，沒(méi)有任何一家公司能完全生產(chǎn)所有的零部件，這也在一定程度上保證了光刻機(jī)的保密和技術(shù)安全。

荷蘭公司需要掌控超過(guò)百余家的公司作為供貨商，這些企業(yè)又來(lái)自不同的國(guó)家，比如反光鏡和光學(xué)零部件的供貨來(lái)自德國(guó)，光源來(lái)自美國(guó)，計(jì)量的零部件設(shè)備來(lái)自美國(guó)，這些是世界上最頂尖的技術(shù)集合在一起，沒(méi)有任何一家公司能把世界上最厲害的技術(shù)集合到一起。

荷蘭阿斯麥公司把所有的零部件集中到自己的廠家后進(jìn)行技術(shù)組裝，按照保密的圖紙和制造工藝把光刻機(jī)加工出來(lái)，這種技術(shù)是高度保密的，就算買到了光刻機(jī)的國(guó)家，也無(wú)法拆解后進(jìn)行還原，至少當(dāng)下這個(gè)階段是無(wú)法做到的，就像日本的發(fā)動(dòng)機(jī)一樣，只要拆開(kāi)就是一堆廢品了因?yàn)檎w都焊接在一起，任何國(guó)家都難以進(jìn)行拆分和組裝，所以這些擁有專利技術(shù)的公司才能安全坐享利潤(rùn)。

阿斯麥的光刻機(jī)都有傳感器，也就是說(shuō)售出的光刻機(jī)禁止拆開(kāi)，只要正常使用不會(huì)報(bào)警，一旦想拆開(kāi)進(jìn)行分析結(jié)構(gòu)的話，內(nèi)置的傳感器會(huì)自動(dòng)把異常情況回傳給荷蘭的阿斯麥公司，可見(jiàn)對(duì)專利技術(shù)的保護(hù)已經(jīng)武裝。

在這種情況下，我國(guó)就算正常去進(jìn)口，也被限制購(gòu)買，因?yàn)槊绹?guó)不允許荷蘭向我國(guó)提供高端的光刻機(jī)，就是為了打壓我國(guó)的芯片研發(fā)技術(shù)進(jìn)展，甚至還扣留了荷蘭阿斯麥公司的設(shè)備出口到中國(guó)的許可證。

簡(jiǎn)而言之，我國(guó)的芯片行業(yè)和光刻機(jī)行業(yè)可謂很是艱難，但是我國(guó)科研領(lǐng)域都是迎難而上，不畏懼外在的壓力和限制，現(xiàn)在已經(jīng)沖破重重阻撓和克服難題，在光刻機(jī)的核心系統(tǒng)需要的步進(jìn)掃描工作臺(tái)技術(shù)有了重大突破，這意味著，我國(guó)在自主研發(fā)光刻機(jī)的領(lǐng)域又邁進(jìn)一大步。

這個(gè)進(jìn)步就是在光刻機(jī)重要的核心構(gòu)造，雙工作臺(tái)領(lǐng)域取得的成果。重要性堪稱光刻機(jī)的心臟，光刻機(jī)運(yùn)用到的光線，目前是紫外光，深紫外光，和極紫外光集中，把電路圖從磨板轉(zhuǎn)移到硅片上的技術(shù)實(shí)現(xiàn)。

光刻機(jī)有三個(gè)核心部分構(gòu)架，分別是投影物鏡、光源和工作臺(tái)，工作臺(tái)由硅片臺(tái)與掩模臺(tái)組成，我國(guó)現(xiàn)在就是在雙工作臺(tái)方面進(jìn)行了突破，這項(xiàng)研究是我國(guó)的清華大學(xué)團(tuán)隊(duì)牽頭，由我國(guó)的頂級(jí)供貨商華卓精科公司協(xié)助。

光刻機(jī)雙工作臺(tái)技術(shù)宣布研發(fā)成功，這項(xiàng)技術(shù)的成功是非常了不起的，打破了荷蘭阿斯麥公司在光刻機(jī)雙工作臺(tái)方面的技術(shù)壟斷，中國(guó)的華卓精科光刻機(jī)雙工作臺(tái)技術(shù)，成為繼荷蘭公司后，世界第二家擁有該項(xiàng)技術(shù)的公司。